现代的过滤技术可以防止绝大部分的外部粉尘进入洁净室。但是，在洁净室内部，粉尘依然会在工作人员，生产设备以及部分生产过程中产生。令人遗憾的是，通常这些粉尘源都会比较靠近产品。如果物体表面带了静电，由于静电吸引就会吸附在洁净室层流中传播的粉尘。亚微米级的尘粒会影响到高科技产品的质量，它们一旦被吸附，产品表面就很难清除。

尘粒污染在半导体、磁盘驱动器和FPD产业中臭名昭著。它们会导致组件报废或者损害磁头和磁盘介质。一个平面显示器很可能因为单单一个带静电的尘粒而被破坏掉。对于医疗设备，带静电的尘粒在其质量上所带来的后果可能会更为严重。在医疗、制药、食品加工还有其他生命科学行业中，还必须考虑吸附在尘粒上的微生物的影响。

除了会使洁净室中的除尘变得更加困难外，静电还会带来其他的生产问题。未加控制的静电传导——静电放电——会直接对产品产生危害。危害到半导体、磁盘零部件、医疗设备以及多种类型的薄膜和涂层。

一个硬盘生产线上的除静电离子风机

静电放电也会产生电磁干扰（EMI）现象。这将会妨碍到产品设备（特别是基于微处理器的机器人技术）的正常工作。发生在某部分设备上的静电放电，也可能会影响到附近其他设备的运转，这样就很难找出问题出在什么地方。

一个全面的污染控制流程，必须将静电问题作为洁净室污染的一种类型，将其测量和处理纳入其中。
 

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